Lehrveranstaltungen
Modul 14: Plasma- und Dünnschichttechnologie (7,5 ECTS-AP, 6 SSt.)
Anmeldevoraussetzung: keine
Lernergebnis: Die Studierenden verfügen über grundlegende theoretische und experimentelle Kenntnisse der Plasmaphysik, -diagnose und -technologie, des Umgangs mit den entsprechenden Plasmaapparaturen und plasmatechnologischer Anwendung in Material- und Nanowissenschaften. Sie erlernen die Berechnung funktionaler Dünnschichtsysteme, verschiedene Depositionstechniken und kontrollieren die Materialeigenschaften des von ihnen hergestellten Produktes.
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