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14. Wahlmodul: Plasma- und Dünnschichttechnologie (7,5 ECTS-AP, 6 SSt.)
Zur übergeordneten Rubrik
ML
744083
Plasmaverfahren zur Herstellung dünner Schichten (PR / 2h / 2,5 ECTS-AP)
Hans Pulker, Georg Norbert Strauss
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